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近日,微軟首席執行官薩提亞·納德拉(Satya Nadella)在社交平臺上宣布,其團隊已成功開發出微流體冷卻技術——通過細如發絲的微小通道,直接將冷卻液輸送到芯片內部。

人工智能的高速發展帶來前所未有的算力需求,而支撐這些需求的核心是數據中心里的高性能芯片。與以往的硅芯片相比,新一代AI芯片在功率和熱流密度上成倍提升,隨之而來的就是 更嚴重的發熱問題。對于數據中心來說,這個問題更為嚴峻。
“微流體冷卻能夠支持更高功率密度的設計,從而在更小的空間內實現客戶關心的功能并提供更好的性能。” 微軟云運營與創新部門企業副總裁兼首席技術官Judy Priest 表示。“但首先我們必須證明這項技術和設計可行,然后接下來的重點就是測試可靠性。”
實驗室測試結果顯示,微流體冷卻在不同工作負載和配置下,散熱性能最高可比冷板提升三倍,并可使 GPU 芯片內部的最高溫升降低 65%(具體數值隨芯片類型不同而變化)。團隊預計,這項先進的冷卻技術還將改善數據中心的 PUE(電源使用效率) 指標,降低能耗和運營成本。
01 詳解微軟的微流體冷卻技術——從自然啟發到AI優化
為了突破冷板液冷的局限,微軟研發團隊嘗試了一種更激進的方案:微流體冷卻(Microfluidics)。這項技術的核心思路,是直接在硅芯片背面蝕刻出微米級的溝槽,讓冷卻液能夠直接流經發熱區域,而不是隔著多層封裝進行散熱。

這些微通道的尺度接近頭發絲,極其精細,稍有偏差就可能導致堵塞或芯片強度下降。因此,微軟團隊與瑞士的初創公司(Corintis)合作在設計過程中引入AI輔助優化,借助仿生學思路,讓冷卻液的流動路徑更接近自然界中的高效分布。比如葉脈、蝴蝶翅膀的血管結構,它們都能以最短路徑輸送能量,AI 則幫助把這種“自然智慧”遷移到芯片的溝槽布局中,從而更精準地冷卻“熱點”。
該技術需要確保通道足夠深,以循環足夠的冷卻液而不會堵塞,同時又不會太深以至于影響硅片有破裂的風險。僅在過去一年中,該團隊就進行了四次設計迭代。微流控還需要為芯片設計防漏封裝,找到最佳冷卻劑配方,測試不同的蝕刻方法,并開發一種在芯片制造中添加蝕刻的精細化工藝。
實驗表明,這種設計能讓冷卻性能相比冷板提升多達三倍,并使GPU內部最高溫度降低約 65%。更重要的是,由于冷卻液能直接接觸硅芯片,所需的液體溫度不必像傳統冷板那樣過低,這意味著制冷能耗也同步下降,從而提高了數據中心的能源利用效率(PUE),降低運維成本。
在應用層面,微流體冷卻不僅能解決過熱問題,還能為數據中心與AI計算帶來新的可能性:
性能釋放:支持更高功率、更高密度的芯片設計,允許安全“超頻”。
可靠性提升:溫度控制更精確,降低芯片損傷風險。
空間效率:服務器機架可更緊湊布置,減少數據中心對新建筑的依賴。
可持續性:冷卻液無需過度降溫,同時還能提高余熱利用價值,降低對電網的負擔。
可以說,微流體冷卻并不僅僅是一種散熱手段,它更像是一種打開未來芯片架構和數據中心設計的新鑰匙。下一步,Microsoft繼續研究如何將微流體冷卻整合到其未來幾代第一方芯片中。該公司表示,它還將繼續與合作伙伴合作將微流體技術引入其數據中心的生產。
微流體冷卻只是微軟推動下一代冷卻技術、優化云堆棧各個環節的一部分。傳統數據中心依靠大型風扇吹風散熱,但液體的導熱效率遠高于空氣。微軟已在數據中心部署的一種液冷形式就是冷板(cold plates):冷板置于芯片之上,冷卻液流入冷板內部的通道,從芯片帶走熱量后再流出降溫。然而,芯片在封裝時會被多層材料覆蓋,用于擴散熱量和保護芯片。但這些材料也限制了冷板的散熱效果。未來為 AI 設計的新一代芯片功率更強,發熱更高,冷板將難以勝任。
通過微流體通道直接冷卻芯片效率更高,不僅能更快帶走熱量,還能提升整體系統性能。因為去掉了多層隔熱材料,冷卻液可以直接接觸發熱點,因此不必保持極低溫度就能實現良好散熱。這意味著數據中心可以減少冷卻液制冷能耗,同時比冷板效果更好。微流體還支持更高效的廢熱利用。微軟還希望通過軟件等手段優化數據中心運營。“如果微流體冷卻能減少冷卻能耗,就能減輕對附近社區電網的壓力。散熱還限制了數據中心設計。數據中心的優勢之一是服務器可以緊密放置,但服務器間距過小就會出現散熱瓶頸。微流體冷卻將允許更高密度的服務器布局,從而在不擴建新建筑的前提下提升算力。
微流體冷卻還可能為全新芯片架構打開大門,例如3D堆疊芯片。就像把服務器靠近能降低延遲一樣,將芯片垂直堆疊能進一步降低延遲。但這種3D架構因發熱嚴重而難以實現。然而,微流體能夠將冷卻液帶到極靠近功耗的位置,因此完全可能在3D 芯片設計中讓冷卻液穿過芯片。比如采用柱狀微針作為層間支撐(類似多層車庫的柱子),讓冷卻液在其間流動。
去除散熱瓶頸還將允許在服務器機架內放置更多芯片,或在單芯片上集成更多核心,從而提升速度,并實現更小巧但更強大的數據中心。微軟希望通過證明像微流體這樣的新型冷卻技術可行,為全行業鋪平道路,使下一代芯片更高效、更可持續。
03 關于微流控
隨著半導體進入三維結構,集成冷卻的想法逐漸可行。1980年代,制造商嘗試在硅芯片上疊加多個組件,并提出在上層制作微通道冷卻,但由于芯片供應商更關注堆疊有源組件,這一方案未被廣泛采用。2015年,佐治亞理工學院與英特爾合作,首次在 FPGA 芯片上集成微流體冷卻層,將液體冷卻距離晶體管僅幾百微米,消除了硅芯片頂部散熱器的需求,為新一代電子產品提供了潛在顛覆性技術。
2020年,比利時魯汶大學的 Tiwei Wei 在電力電子領域提出微冷卻通道方案,主要針對 GaN 等大功率芯片,盡管他認為該技術不適合通用微處理器。同時,瑞士洛桑聯邦理工學院的 Matioli 團隊在晶體管下方構建微流體 3D 網絡,使冷卻液直接接近發熱核心,功率密度可達每平方厘米 1.7kW,顯著提高散熱效率。
2021年,微軟團隊將微針鰭片蝕刻在標準英特爾 CPU 背面,并結合 3D 打印歧管實現微流體冷卻。通過該技術,CPU 可在超頻至 TDP 兩倍功率下安全運行,熱阻降低 44%,所需冷卻液量僅為傳統冷板的三十分之一。
這些發展表明,微流體冷卻正在從實驗室研究逐步走向實際應用,為高功率密度芯片和未來 3D 芯片架構提供了可行的散熱方案。

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